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净化工程要控制温湿度具体措施有哪些?

发布日期:2021-11-04 作者: 点击:

    湖南净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确认,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒服感。跟着空气洁净度要求的提,工艺对温湿度的要求也越来越高,到达定的温湿度等。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以有±0.1度的恒温,同时要求湿度值般较低,因为人出汗今后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

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  湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,假如发生在精细装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化工程要控制温湿度具体有什么措施?

  然而关于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需求保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的保持般应契合以下原则:

  1.洁净度别高的空间的压力要高于相邻的洁净度别低的空间的压力。

  2.相通洁净室工程之间的门要开向洁净度别高的房间。

  3.洁净空间的上海风淋室压力要高于非洁净空间的压力。

  压力差的保持依托新风量,这个新风量要能补偿在这压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理含义就是漏泄(或渗透)风量经过洁净室的各种缝隙时的阻力。

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  关于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;

  1.送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间比较,要求速度衰减更快,扩散视点更大。

  2.吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而形成再污染,这速度般不宜大干0.2m/s。


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